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一种新型的扫描探针显微镜(SPM)和扫描电子显微镜(SEM)关联成像系统简介

发布时间:2020-03-18 17:17 |  点击次数:


LiteScope是一种独特的扫描探针显微镜(SPM)。 它设计用于轻松集成到各种扫描电子显微镜SEM)中。 合互补的SPMSEM技术使其能够利用两者的优势使用LiteScope及其可更换探针系列,可以轻松进行复杂的样品分析,包括表面形貌,机械性能,电性能,化学成分,磁性能等的表征

相关探针和电子显微镜(CPEM)结合了SPM和SEM技术。 CPEM可以同时在同一协调系统中同时获取同一区域的SPM和SEM图像。 结合SPM和SEM成像方法可以得到分析区域的更广泛的信息光谱,从而揭示两种图像中可能存在的等同性和不一致性

工作原理

将样品连接到压电扫描仪。 电子束焦点和SPM探针在CPEM图像采集期间仍然是感兴趣的区域由压电扫描器逐点扫描并发出信号同时对SEM检测器和SPM探针进行采样,以便进行测量放在同一个协调系统中。 SPM尖端和该范围内的聚焦电子束之间存在恒定的尖端/点偏数百纳米。 如果减去这样的尖端/点偏移,则SEM和SPM图像具有完美匹配和优异的相关可以获取CPEM图像

CPEM技术的优

  • CPEM提供多维相关成像 - 来自扫描电子显微镜的图像被扩展为3D
  • 使用CPEM,可以快速准确地区分SEM图像中的地形和材料对比度
  • CPEM以适当的方式将两个或多个SEM信号与测量的地形相关联,例如SE,BSE,EBIC等
  • CPEM可以在相同的条件下同时测量AFM和SEM试样条件,相同的测量速度等
  • 组合的AFM和SEM扫描系统可实现精确的图像相关,消除漂移和其他不准确性